荷兰信息技术公司
ASML Holding N.V.(原名“先进半导体材料光刻”);通常简称为ASML)是一家成立于1984年的荷兰跨国公司,专门从事光刻系统的开发和制造。目前,它是世界上最大的光刻系统供应商,主要用于半导体行业,也是世界上唯一的极紫外光刻(EUV)光刻机供应商。阿斯麦公司拥有来自120个国家的31000多名员工,依靠4000多家供应商组成的庞大网络,在美国、比利时、法国、德国、爱尔兰、以色列、意大利、荷兰、英国、中国大陆、香港、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾设有办事处。
阿斯麦公司生产的光刻机用于电脑芯片的生产。在这些机器中,图案被光学成像到覆盖着一层光敏材料(光刻胶)的硅片上。这一过程在单个晶圆片上重复数十次。然后光刻胶被进一步加工,在硅上产生实际的电子电路。阿斯麦的机器处理的光学成像几乎用于所有集成电路的制造,截至2010年,阿斯麦占有全球光刻机销售的67%,竞争对手包括Ultratech、佳能和尼康。
浸没式光刻技术由Burn-Jeng Lin开发,此后ASML与台积电合作。台积电于2004年开始使用ASML浸没式光刻技术生产90纳米半导体节点。2011年,他们的高端TWINSCAN NXT:1950i系统被用于生产32纳米(外观为22纳米)以下的功能部件,每小时可生产200个晶片,使用一个水浸透镜和氟化氩激光器产生波长为193纳米的光。2011年,光刻机的平均价格为2700万欧元。
阿斯麦公司生产极紫外光刻机,可产生13.3-13.7 nm波长范围内的光。高能激光器聚焦在熔化锡的微小液滴上,产生等离子体,并发出EUV光。
2009年,比利时的IMEC研究中心通过一台EUV光刻机原型机生产出了世界上第一个功能性22纳米CMOS SRAM存储单元。系列(非原型)EUV机于2011年出货。
除了浸入式光刻和紫外线光刻,阿斯麦公司还拥有大量的知识产权,包括压印光刻。
公司阿斯麦公司总部位于荷兰费尔德霍芬。它也是研发、生产和组装的基地。阿斯麦在全球16个国家拥有60多个服务网点。公司名为ASML,在AEX和纳斯达克证券交易所同时上市。它也是欧元斯托克50指数和纳斯达克100指数的组成部分。
该公司(原名ASM Lithography,现在的名称是ASML,这是一个官方名称,不是缩写)成立于1984年,是荷兰公司先进半导体材料国际公司(Advanced Semiconductor Materials International, ASMI)和飞利浦(Philips)的合资企业。如今,它是一家上市公司,只有飞利浦拥有少数股份。当公司在1988年独立时,它决定改变名字是不可取的,缩写ASML成为正式的公司名称。
2000年,ASML收购了美国光刻设备制造商硅谷集团(SVG),向英特尔公司提供193纳米扫描仪。
ASML受制于周期性的行业动态。例如,在2008年底,ASML经历了销售的大幅下滑,这导致管理层在全球范围内裁减了大约1000名员工,其中大部分是合同工,并向荷兰国家失业基金申请支持,以防止更大规模的裁员。两年半后,阿斯麦公司预期收入将创历史新高。
2012年7月,英特尔宣布向ASML投资41亿美元,以换取其15%的股权,以加快从300毫米晶片向450毫米晶片的过渡,并进一步发展EUV光刻技术。这笔交易并不包括阿斯麦未来产品的独家使用权,而且截至2012年7月,阿斯麦还将向其他公司提供另外10%的股份。作为其EUV战略的一部分,ASML于2012年10月宣布收购DUV和EUV源制造商Cymer。
2013年11月,ASML暂停了450毫米光刻设备的开发,理由是芯片制造商的需求时间不确定。
2015年,ASML遭受了知识产权盗窃。一些员工被发现从该公司位于硅谷的软件子公司窃取机密数据,该子公司为机器优化开发软件。
2016年6月,阿斯麦宣布计划以约31亿美元收购台湾Hermes Microvision Inc.,以增加生产更小更先进半导体的技术。
2020年11月,ASML宣布收购德国光学玻璃制造公司柏林玻璃集团,以满足其EUV系统日益增长的组件需求。
在2021年7月公布业绩后,该公司表示,它们几乎垄断了台湾积体电路制造有限公司(Taiwan Semiconductor Manufacturing)和三星电子(Samsung Electronics)用于制造先进芯片的机器。电子制造商使用极紫外光刻设备使硅片具有更强大的原子级精度。